Описание
Сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовым катодом.
Универсальный прибор для научных и рутинных исследований с широчайшим спектром применения – от геологии или машиностроения, до биологии и медицины. Большое количество опций позволяют решать множество задач и делают этот микроскоп по-настоящему универсальным исследовательским инструментом.
— дешевый и простой в замене вольфрамовый катод (есть возможность установки катода из LaB6)
— полностью автоматическая высокопроизводительная вакуумная система
— режим низкого вакуума (опция)
— возможность установки энергодисперсионного спектрометра (EDS), детектора дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD), детектора катодолюминесценции (CL)
— модификация для электронно-лучевой литографии
— возможность установки столиков образцов с нагревом/охлаждением, деформацией.
Детали
| Разрешение | 3nm@30kV(SE), 4nm@30kV(BSE) |
|---|---|
| Увеличение | 300000x |
| Детектор | Детектор вторичных электронов (SE), детектор обратно отраженных электронов(BSE) |
| Детектор(опционально) | Детектор вторичных электронов для работы в низком вакууме(LVSE) |
| Ист. электронов | Прецентрированный вольфрамовый катод |
| Уск. напряжение | 0-10 кВ с шагом 100В, 10-30кВ с шагом 1кВ |
| Вакуум | Безмаслянная автоматическая вакуумная система., Клапан разделяющий камеру и колонну при смене образцов., Режим низкого вакуума 10-270 Па. |
| Cтолик образцов | Моторизованный по осям XYZR |
| Рабочая камера | Вертикальная CCD-камера |
| Выходное изображение | Режимы сканирования: полный растр с разрешением до 2048х2048, редуцированный растр с возможностью масштабирования, настраиваемая скорость сканирования (1-18). |
| Автоматизация | Автоматическая коррекция астигматизма, Автонастройка контраста, Автонастройка яркости, Автофокус |
| Управляющий ПК | Рабочая станция с операционной системой не ниже Windows 10 |
| Управляющее ПО | ПО для управления микроскопом и анализа изображений (линейные, угловые измерения, измерения площади, настройка яркости, контраста, сатурации). |
| Электропитание | 220В, 50Гц, 15А |
