Описание
Экономичный настольный сканирующий электронный микроскоп с максимальным увеличением в 150 000 раз за счет использования миниатюрных модулей. Способен сканировать изображения с высоким разрешением 5 нм.
Может использоваться для контроля качества, научно-исследовательских и образовательных целей с различными детекторами, которые создают изображения поверхности (SE) и изображения материала (BSE).
Единственный настольный сканирующий электронный микроскоп с 5-осевой системой, обеспечивающий неограниченное перемещение предметного столика. Простой и удобный захват изображений с помощью функции «Click & Move» — одной из особенностей моторизованного предметного столика. Возможность получать изображения под разными углами с помощью наклона в диапазоне от -45° до 90° и легко проводить энергодисперсионный анализ (EDS).
Технические характеристики
| Параметр | Характеристика |
| Разрешение | Plus A: 5 нм (при 30 кВ, SE) |
| Plus B: 5 нм (SE) / 8 нм (BSE) | |
| Диапазон увеличений | 20× ~ 150 000× |
| Ускоряющее напряжение | 1–30 кВ (ступенчатая регулировка: 1, 5, 10, 15, 20, 30 кВ) |
| Детекторы | Plus A: SE (вторичные электроны) |
| Plus B: SE + BSE (обратно-рассеянные электроны) — двойной детектор | |
| Электронная пушка | Предварительно центрированная вольфрамовая нить (картриджного типа) |
| Система столика | Тип привода: 5-осевой моторизованный (электропривод) |
| Ход по осям: | |
| • X: 40 мм | |
| • Y: 40 мм | |
| • R: 360° | |
| • Z: 0–40 мм | |
| • Наклон (T): −45° … +90° | |
| Максимальный размер образца | ⌀ 80 мм × 35 мм (высота) |
| Автоматические функции | Автозапуск, автофокусировка |
| Форматы изображений | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| Вакуумный режим | Plus A: высокий вакуум |
| Plus B: высокий и низкий вакуум (Multi-режим) | |
| Вакуумные насосы | Ротационный насос + турбомолекулярный насос (полностью автоматизированная система) |
| Габариты основного блока | 390 (Ш) × 380 (Г) × 560 (В) мм, 88 кг |
| Габариты блока управления | 390 (Ш) × 325 (Г) × 560 (В) мм, 37 кг |
| Габариты ротационного насоса | 400 (Ш) × 160 (Г) × 340 (В) мм, 24 кг |
