Анализатор микросистем (виброметр на основе микроскопа) MSA-060

Описание

Область применения: Полупроводниковая промышленность и микроэлектроника, биомедицинские технологии и исследования, исследование новых материалов.
Анализатор микросистем MSA-060 — это компактная оптическая измерительная система для комплексной оценки вибрационных характеристик МЭМС и микросистем, динамики прецизионной механики и надежности электронных компонентов. Это решение начального уровня помогает определять резонансные частоты, амплитуды вибрации и даже визуализировать формы эксплуатационных отклонений на всей поверхности образцов.
MSA-060 предназначен для полно-контактного и бесконтактного вибрационного анализа, фиксируя реальную динамику вибраций — от самых малых и хрупких до структур мезо-масштаба. Мощный модуль сбора данных VibSoft-PRO предлагает эталонный канал плюс генератор сигналов. Опциональная XY-стадия позволяет сканировать всю поверхность образца, предоставляя данные о вибрации в реальном времени с разрешением в пикометры в расширенной полосе частот от постоянного тока до 24 МГц.

Детали

Модель

MSA-060

Аналоговые выходы сигналов

3 разъема BNC (±1 В при 50 Ом; ±2 В при 1 МОм) для одновременного и синфазного вывода:, • Скорости, • Перемещения, • Ускорения

Цифровые выходы сигналов

Цифровой интерфейс VibroLink для передачи данных измерений (скорости) и уровня сигнала.(Применение: Только для одноканальных (точечных) измерений.)

Частотный диапазон (полоса пропускания)

От постоянного тока до 24 МГц, До 15 выбираемых полос: 1 кГц, 2 кГц, 5 кГц, 10 кГц, 20 кГц, 50 кГц, 100 кГц, 200 кГц, 500 кГц, 1 МГц, 1.5 МГц, 3 МГц, 6 МГц, 12 МГц, 24 МГц (в зависимости от макс. полосы базового модуля)

Макс. скорость

±12 м/с

Тип лазера

Гелий-неоновый (HeNe)

Класс лазера

Класс 2, < 1 мВт

Длина волны лазера

633 нм, видимый красный луч

Фокусировка

Ручная

Минимальная дистанция измерения

204 мм (со стандартным объективом), 20 мм (с микрообъективом)

Максимальная дистанция измерения

Зависит от поверхности