Комплексные решения в области испытаний, контроля, исследований и материаловедения.
Аналитические возможности В основе сканирующих электронных микроскопов с полевой эмиссией серии ΣIGMA от Carl Zeiss лежит колонна GEMINI, лидирующая на рынке. Конструкция колонны GEMINI обеспечивает непревзойденное качество и стабильность изображений при низких ускоряющих напряжениях. ΣIGMA позволяет разрешать структуры на уровне 1,5нм. ΣIGMA HD предоставляет дальнейшее улучшение разрешения до 1,0 нм вместе с возможностью проведения более быстрого и точного анализа EDS.
| Ист. электронов | Термополевой катод Шоттки |
|---|---|
| Детектор | Carl Zeiss BSD |
| Максимальная скорость сканирования | 100 нс/пикс |
| Уск. напряжение | 0.2 – 30 кВ |
| Увеличение | 1000000x |
| Ток пучка | 4 пА — 20 нА (опция 100 нА) |
| Максимальный размер изображения | 3072 x 2304 пикс |
| Доступные порты | 10 |
| Порты для EDS | 1 |
| Режим высокого вакуума | Есть |
| Вакуум | 2-133 Па |
| Тип столика | 5-ти осевой компуцентрический |
