Описание
SEC SNE-3000MS подходит для контроля поверхности с 10 000—кратным увеличением, которое является основным диапазоном контроля с помощью СЭМ. Данная модель специально разработана для повседневных задач, обеспечивая высокое разрешение (с разрешением 15 нм и увеличением в 60 000 раз) и простоту управления даже для начинающих специалистов.
Технические характеристики
| Параметр | Характеристика |
| Разрешение | 15 нм (при 30 кВ, режим вторичных электронов SE) |
| Диапазон увеличений | 20× ~ 60 000× |
| Ускоряющее напряжение | 1–30 кВ (ступенчатая регулировка: 1, 5, 10, 15, 20, 30 кВ) |
| Детектор | Вторичные электроны (SE) |
| Электронная пушка | Предварительно центрированная вольфрамовая нить (картриджного типа) |
| Система перемещения столика | Трёхосевая система (X, Y, R — ручное управление) |
| • X, Y: 40 мм | |
| • R: 360° | |
| • Сдвиг изображения (Image Shift): ±150 мкм | |
| • Наклон (Tilt): 0–45° (опционально) | |
| Максимальный размер образца | ⌀ 70 мм × 30 мм (высота) |
| Автоматические функции | Автозапуск, автофокусировка, автоматическая коррекция астигматизма, автоматическая регулировка контраста и яркости |
| Форматы изображений | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| Вакуумная система | Высокий вакуум (полностью автоматизированный) |
| Вакуумные насосы | Ротационный насос + турбомолекулярный насос |
| Габариты основного блока | 390 (Ш) × 380 (Г) × 560 (В) мм, 83 кг |
| Габариты блока управления | 390 (Ш) × 325 (Г) × 560 (В) мм, 37 кг |
| Габариты ротационного насоса | 400 (Ш) × 160 (Г) × 340 (В) мм, 24 кг |
