Описание
Сканирующий электронный микроскоп с вольфрамовым катодом.
Универсальный прибор для научных и рутинных исследований с широчайшим спектром применения – от геологии или машиностроения, до биологии и медицины. Большое количество опций позволяют решать множество задач и делают этот микроскоп по-настоящему универсальным исследовательским инструментом.
— дешевый и простой в замене вольфрамовый катод (есть возможность установки катода из LaB6)
— полностью автоматическая высокопроизводительная вакуумная система
— режим низкого вакуума (опция)
— возможность установки энергодисперсионного спектрометра (EDS), детектора дифракции обратно рассеянных электронов (EBSD), детектора катодолюминесценции (CL)
— модификация для электронно-лучевой литографии
— возможность установки столиков образцов с нагревом/охлаждением, деформацией.
|
Разрешение |
3nm@30kV(SE) с детектором вторичных электронов 4nm@30kV(BSE) с детектором обратно-рассеянных электронов |
|
Диапазон увеличений |
8x-300000x |
|
Тип источника электронов |
Прецентрированный вольфрамовый катод |
|
Ускоряющее напряжение |
0-30 кВ, шаг 100В в диапазоне 0-10 кВ шаг 1000В в диапазоне 10-30 кВ |
|
Стандартные детекторы |
SE (детектор вторичных электронов типа Эверхарта-Торнли) BSE (полупроводниковый 4-сегментный детектор обратно рассеянных электронов) |
|
Опциональные детекторы |
LVSE детектор вторичных электронов для работы в низком вакууме. |
|
Вакуумная система |
Полностью автоматическая, безмасляная. Наличие дифференциального клапана разделяющего камеру и колонну при смене образцов. Режим низкого вакуума 10-270 Па (для модели 7069-LV) |
|
Рабочая камера и столик образцов |
Моторизованный по осям XYZR Диапазон перемещения: X: 70 мм Y: 50 мм Z: 45 мм T: -10 ÷ 90 (ручной привод) R: 360 |
|
Вертикальная CCD-камера Горизонтальная CCD-камера мониторинга (chamberscope) |
|
|
Порты для установки дополнительных детекторов: — EDX — EBSD — WDX |
|
|
Вывод изображений |
Режимы сканирования: полный растр с разрешением до 2048х2048, редуцированный растр с возможностью масштабирования, настраиваемая скорость сканирования (1-18) Максимальное разрешение сохраняемого изображения 4096х4096 |
|
Навигация по образцу |
Вертикальная навигационная CCD-камера |
|
Автоматизация |
Автофокус, автоматическая коррекция астигматизма, автонастройка яркости/контраста |
|
Управляющий компьютер |
PC Work Station Win 10 System, Intel I5 3.2GHz, 4G Memory, 24″ IPS LCD Monitor, 500G Hard Disk, Mouse, Keyboard ПО для управления микроскопом и анализа изображений (линейные, угловые измерения, измерения площади, настройка яркости, контраста, колоризации). |
|
Электропитание |
Сеть 220В, 3 кВА, отдельный контур заземления |
