Описание
Конструкция «все в одном», продуманная структура и интерфейс. Сканирующая головка и предметный столик для образцов спроектированы вместе, обладают хорошими антивибрационными характеристиками. Точное лазерное обнаружение и устройство выравнивания зонда упрощают и облегчают ручную или автоматическую регулировку лазера, чтобы реализовать точное позиционирование области сканирования. Высокоточное устройство для переноса образца с большим диапазоном позволяет сканировать любую интересующую область образца. Различные типы сканеров отвечают различным требованиям клиентов по точности и размеру сканирования; система оптического наблюдения для проверки наконечника и образца. CCD камера для наблюдения и позиционирования образца в режиме реального времени. Сервопривод для автоматической фокусировки CCD.
Удобное программное обеспечение и функции
1. Многоканальные изображения захватываются и отображаются синхронно, возможность наблюдения за картой профиля в режиме реального времени.
2. Возможность получения и измерения множества графиков, таких как F-Z, f-RMS, RMS-Z.
3. Функция перемещения и вырезания области сканирования, выбор любой интересующей области образца;
4. Сканирование образца под любым углом в начале сканирования;
5. Регулировка системы обнаружения лазерного пятна в режиме реального времени;
6. Поиск резонансной частоты наконечника вручную или автоматически.
7. Возможность выбора и установки цвета сканируемого изображения в палитре.
8. Поддержка линейного усреднения и коррекции смещения в режиме реального времени;
9. Поддержка калибровки чувствительности сканера и автокалибровки электронного контроллера;
| Характеристики | Значения | Характеристики | Значения |
| Режимы работы | Контактный, полуконтактный, фазовый, трение, магнитный, электростатический | Угол сканирования | 0~360 ° |
| Размер образца | Φ≤90 мм；H≤20 мм | Перемещение образца | 0～20 мм |
| Max. scan range | X/Y: 50 мкм, Z: 5 мкм | Ширина иммпульса привода приближения | 10±2 мс |
| Разрешение | X/Y: 0,2 нм, Z: 0,05 нм | Оптическая система | увеличение: 10X, разрешение: 1um |
| Режим сканирования | 0.6 Гц…4.34 Гц | Разрешение изожение | 256×256，512×512 |
| Управление сканированием | XY: 18-битный ЦАП, Z: 16-битный ЦАП | Обратная связь | DSP цифровая ОС |
| Выборка данных | Один 14-битный ЦАП и два 16-битных ЦАП, многоканальная выборка | Частота дискретизации ОС | 64 КГц |
| Подключение к ПК | USB2.0 | Windows | Совместима с версиями Windows98/2000/XP/7/8 |
