Description
Информация о продукте
Сканирующая головка и столик образцов спроектированы вместе, обладают высокими антивибрационными характеристиками;
Устройство точного лазерного обнаружения и выравнивания зонда упрощают процедуру лазерной настройки регулировку;
Адаптированный сервопривод для управления приближающимся наконечником вручную или автоматически, позволяющий реализовать точное позиционирование области сканирования;
Устройство для переноса зонда с высокой точностью и большим диапазоном позволяет сканировать любую интересующую область образца;
Система оптического наблюдения для проверки наконечника и позиционирования образца; Электронная система спроектирована как модульная и проста в обслуживании и дальнейшем развитии;
Пружинная виброизоляция, простота и хорошая производительность.
Программного обеспечения
1. Два разрешения: 256×256, 512×512;
2. Функция перемещения и вырезания области сканирования, выбор любой интересующей области образца;
3. Сканирование образца под любым углом в начале сканирования;
4. Регулировка системы обнаружения лазерного пятна в режиме реального времени;
5. Возможность выбора и установки цвета сканируемого изображения в палитре.
6. Поддержка линейного усреднения и коррекции смещения в режиме реального времени;
7. Поддержка калибровки чувствительности сканера и автокалибровки электронного контроллера;
8. Поддержка автономного анализа и обработки образца изображения.
Основные характеристики
| Характеристики | Значения | Характеристики | Значения |
| Режимы работы | Контактный, полуконтактный, фазовый, трение, магнитный, электростатический | Угол сканирования | 0~360 ° |
| Размер образца | Φ≤90 мм；H≤20 мм | Перемещение образца | 0～20 мм |
| Max. scan range | X/Y: 50 мкм, Z: 5 мкм | Ширина иммпульса привода приближения | 10±2 мс |
| Разрешение | X/Y: 0,2 нм, Z: 0,05 нм | Оптическая система | увеличение: 10X, разрешение: 1um |
| Режим сканирования | 0.6 Гц…4.34 Гц | Разрешение изожение | 256×256，512×512 |
| Управление сканированием | XY: 18-битный ЦАП, Z: 16-битный ЦАП | Обратная связь | DSP цифровая ОС |
| Выборка данных | Один 14-битный ЦАП и два 16-битных ЦАП, многоканальная выборка | Частота дискретизации ОС | 64 КГц |
| Подключение к ПК | USB2.0 | Windows | Совместима с версиями Windows98/2000/XP/7/8 |
