Описание
Настольный сканирующий электронный микроскоп начального уровня с разрешением 15 нм и увеличением в 60 000 раз. Может использоваться для контроля качества, научно-исследовательских и образовательных целей с различными детекторами, которые создают изображения поверхности (SE) и изображения материала (BSE).
Удобное перемещение по 3 осям и простое управление с помощью мыши в пользовательском интерфейсе. Возможность одновременной проверки и сохранения изображений SE/BSE в режиме двойного просмотра.
Технические характеристики
| Параметр | Характеристика |
| Разрешение | • 15 нм (при 30 кВ, режим вторичных электронов SE) |
| • 20 нм (при 30 кВ, режим обратно-рассеянных электронов BSE) | |
| Диапазон увеличений | 20× ~ 60 000× |
| Ускоряющее напряжение | 1–30 кВ (ступенчатая регулировка: 1, 5, 10, 15, 20, 30 кВ) |
| Детекторы | • Вторичные электроны (SE) |
| • Обратно-рассеянные электроны (BSE) | |
| Электронная пушка | Предварительно центрированная вольфрамовая нить (картриджного типа) |
| Система перемещения столика | Пятиосевая система (X, Y, R, Z, T — ручное управление) |
| • X, Y: 35 мм | |
| • R: 360° | |
| • Сдвиг изображения (Image Shift): ±150 мкм | |
| • Наклон (T): 0–45° (опционально) | |
| • В камере установлена CCD-камера | |
| Максимальный размер образца | ⌀ 70 мм × 30 мм (высота) |
| Автоматические функции | Автозапуск, автофокусировка, автоматическая коррекция астигматизма, автоматическая регулировка контраста и яркости |
| Форматы изображений | BMP, JPEG, PNG, TIFF |
| Вакуумный режим | Высокий и низкий вакуум (High & Low Vacuum) |
| Вакуумные насосы | Ротационный насос + турбомолекулярный насос (полностью автоматизированная система) |
| Габариты основного блока | 390 (Ш) × 380 (Г) × 560 (В) мм, 83 кг |
| Габариты блока управления | 390 (Ш) × 325 (Г) × 560 (В) мм, 37 кг |
| Габариты ротационного насоса | 400 (Ш) × 160 (Г) × 340 (В) мм, 24 кг |
