Описание
Область применения: Полупроводниковая промышленность и микроэлектроника, биомедицинские технологии и исследования, исследование новых материалов.
MSA-600 Micro System Analyzer — это универсальная оптическая измерительная рабочая станция для характеризации топографии поверхности, а также внутриплоскостных и внеплоскостных перемещений.
Версии MSA-600-M/V охватывают частотный диапазон до 25 МГц и идеально подходят для МЭМС, МЭМС-микрофонов и других микросистем.
Версии MSA-600-X/U работают в высоком и сверхвысоком частотном диапазоне до 2,5 ГГц, что делает их идеальными для оценки ВЧ-МЭМС резонаторов, микроакустических устройств, таких как поверхностные акустические волны, объемные акустические волны и др.
MSA-600-S — это специализированная оптическая измерительная рабочая станция, предназначенная для анализа вибраций в реальном времени на частотах до 8 ГГц и анализа топографии поверхности. Идеальное решение для тестирования ГГц-МЭМС, таких как FBAR (объемные пленочные резонаторы), фильтры на объемные акустические волны и устройства на поверхностные акустические волны.
