Растровый электронный микроскоп серии EVO/ SEM EVO

Описание

Аналитическая платформа EVO

■ Стабильная  в своем классе рентгеновская геометрия

■ Отличное в своем классе изображение во вторичных электронах при переменном давлении

■ Технология чистой и быстрой откачки

■ Столик с расширенным диапазоном перемещения и высокой повторяемостью
■ Модульная конструкция на основе разных типо-размеров камер

Изображения HD

■ Изображения высокого разрешения (HD) с источником, яркость которого, по сравнению с обычными РЭМ, выше в 50 раз
■ Великолепное разрешение при низких кВ для по- лучения улучшенного изображения поверхности

■ Улучшенная аналитика при высоких токах луча

Электронная микроскопия в естественной среде

■ Микроскопы EVO LS способны работать с влажными образцами при очень высоких давлениях вплоть до 3000 Па
■ Специальный набор детекторов для получения четких снимков в режимах переменного давления и естественной среды

■ Система BeamSleeve 1 мм для повышения точности анализа

■ Система EasyVP для быстрого переключения между работой в режимах HV и VP
■ Специализированное ПО для эффективной работы с РЭМ

Детали

Разрешение

10 нм @ 3 кВ SE, 15 нм @ 30 кВ 1 нА, LaB6, 20 нм (15 нм) @ 1 кВ SE и W (LaB6), 3 нм (2 нм) @ 30 кВ SE и W (LaB6), 4 нм @ 30 кВ VP режим

Уск. напряжение

0.2 – 30 кВ

Ток зонда

0.5 пА – 5 мкА